恭喜株式会社尼康前原义弘获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜株式会社尼康申请的专利接合方法以及接合装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112424908B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980045550.6，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权接合方法以及接合装置是由前原义弘;釜下敦;三石创;福田稔设计研发完成，并于2019-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本接合方法以及接合装置在说明书摘要公布了：本发明的接合方法包括：第一接合阶段，通过解除第一基板的保持接合第一基板和第二基板从而形成第一层叠体；以及第二接合阶段，通过将已接合的第一基板以及第二基板中的被薄化的一方的基板和第三基板接合从而形成第二层叠体，在第一基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第三基板的保持，在第二基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第一层叠体的保持。
本发明授权接合方法以及接合装置在权利要求书中公布了：1.一种接合方法，其中，包括： 第一接合阶段，通过解除第一基板的保持而将所述第一基板和第二基板接合，由此形成第一层叠体； 将已接合的所述第一基板进行薄化的阶段；以及 第二接合阶段，通过将已接合的所述第一基板以及所述第二基板中的在所述薄化的阶段被薄化的所述第一基板和第三基板接合，从而形成第二层叠体， 在所述第二接合阶段解除所述第一层叠体以及所述第三基板中的所述第三基板的保持。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社尼康，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号