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龙图腾网获悉苏州安田丰科技有限公司申请的专利混酸喷淋蚀刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119852218B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510340994.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权混酸喷淋蚀刻机是由王炫铭;王静;王伟设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本混酸喷淋蚀刻机在说明书摘要公布了：本发明公开了混酸喷淋蚀刻机，涉及晶圆喷淋蚀刻技术领域，包括放置在喷淋槽内的外篮和内篮，以及转动安装在喷淋槽下方位置的转杆和弹性辊。本发明通过将转杆转动安装在喷淋槽的底部，并将弹性辊固定套接在转杆上，使得晶圆片通过外篮、内篮放置到喷淋槽内部喷淋蚀刻时，借助弹性辊外表面与晶圆片底部的接触，使得转杆带动弹性辊旋转的过程中，可以驱使晶圆持续旋转，不断改变晶圆与卡槽的接触位置，实现无死角的喷淋蚀刻作业，在一定程度上提升了该装置喷淋加工时的全面性和稳定性，可以有效避免晶圆喷淋蚀刻后，边缘位置因蚀刻不均匀而造成浪费。

本发明授权混酸喷淋蚀刻机在权利要求书中公布了：1.混酸喷淋蚀刻机，包括主机体（1），其特征在于：所述主机体（1）内自左向右依次设置有纯水喷淋区（101）和弱酸喷淋区（102），所述纯水喷淋区（101）和弱酸喷淋区（102）对应的区域内均固定安装有喷淋槽（2），所述主机体（1）内安装有位于纯水喷淋区（101）左侧的电动输送带（3），所述主机体（1）内安装有位于纯水喷淋区（101）、弱酸喷淋区（102）和电动输送带（3）上方的龙门机械手（4），所述喷淋槽（2）内放置有外篮（5），且外篮（5）包括对称设置的第一侧板（501），两个所述第一侧板（501）之间四角位置固定连接有圆杆（502），两个所述第一侧板（501）之间固定连接有对称设置的第一托架（503），对称设置的两个所述第一托架（503）上架设有多个内篮（6），且内篮（6）包括对称设置的第二侧板（601），两个所述第二侧板（601）之间固定连接有多个第二托架（602），且第二托架（602）靠近第二侧板（601）中心位置的一侧开设有众多均匀分布的卡槽（603），所述喷淋槽（2）的内部转动安装有位于第二侧板（601）中间位置下方的转杆（7），且转杆（7）上固定安装有弹性辊（701）； 所述喷淋槽（2）的底部固定安装有与第一侧板（501）底部对应设置的垫块（205），所述喷淋槽（2）底部四角位置对应的内端壁上均固定安装有倾斜设置的引导板（206）； 所述弹性辊（701）内设置为中空结构，所述转杆（7）内开设有与弹性辊（701）内中空结构连通的气流通道（702），所述喷淋槽（2）的外端壁上固定安装有与气流通道（702）转动连通的转接头（703），所述弹性辊（701）内中空结构中安装有气压传感器； 所述垫块（205）内开设有供气通道（8），所述第一侧板（501）的底部开设有与供气通道（8）对接连通的第一接口（801），所述第一托架（503）的顶部开设有与第一接口（801）连通的第二接口（802），所述第二侧板（601）上开设有与第二接口（802）对接连通的第三接口（803），所述卡槽（603）内对称的两侧内端壁上开设有与第三接口（803）连通的喷孔（804）； 所述供气通道（8）和第一接口（801）、第二接口（802）和第三接口（803）相互对接的位置均安装有阀件（805），所述阀件（805）包括阀体（8051），且阀体（8051）内开设有竖直设置的通管（8052），以及与通管（8052）内端壁连通的接气通道（8053），所述通管（8052）的端口内滑动安装用于对接气通道（8053）封堵的阀块（8054），所述通管（8052）内固定安装有用于对阀块（8054）弹性支撑的弹簧（8055），上下对接的两个所述阀件（805）内的阀块（8054）磁性相斥。

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