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龙图腾网获悉上海中科飞测半导体科技有限公司申请的专利多倍率成像系统轴偏检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119845195B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510330940.5，技术领域涉及：G01B11/27；该发明授权多倍率成像系统轴偏检测系统及方法是由黄有为;陈雪影;陶陶;陈鲁设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本多倍率成像系统轴偏检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了多倍率成像系统轴偏检测系统及方法，系统包括物镜、多个管镜、管镜切换结构、Z向运动台、相机、分束器和标记板；检测方法基于参考光束和被测物离焦成像，采用分束器的反射光束作为参考光束，结合被测物离焦成像方法，通过参考光斑和成像光斑在相机不同Z向位置上的位置变化，测量光轴倾斜，实现对具备多放大倍率管镜模组与物镜的轴偏测量；因采用分束器的反射光束作为轴偏测量时的参考光束，并在结果中进行校正，使得本发明测量精度与相机运动轴无关，消除相机的运动轴倾斜影响，进一步提高了检测精度。

本发明授权多倍率成像系统轴偏检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种多倍率成像系统轴偏检测方法；包括如下步骤： 1）分束器设置： 于管镜像方设置分束器，采用平行参考光束对所述分束器进行姿态标定，至其出射的至少二路光束在相机上形成的光斑重合； 2）第一成像光斑位置测量：相机位于轴向第一位置，在物镜物方放置用于成像测量的标记板，开启物镜成像的照明光束，物镜成像光斑在相机靶面上的绝对位置计为第一成像光斑位置P11； 3）第一参考光斑位置测量：相机位于轴向第一位置，开启平行参考光束，由所述平行参考光束形成的光斑绝对位置记为第一参考光斑位置P10； 4）第二成像光斑位置测量：相机位于轴向第二位置，在物镜物方放置用于成像测量的标记板，开启物镜成像的照明光束，物镜成像光斑在相机靶面上的绝对位置计为第二成像光斑位置P21； 5）第二参考光斑位置测量：相机位于轴向第二位置，开启平行参考光束，由所述平行参考光束形成的光斑绝对位置记为第二参考光斑位置P20； 6）轴偏量计算： 记相机所述轴向第一位置与所述轴向第二位置间轴向运动距离ΔZ； 计算不同相机轴向位置下，成像光斑位置和参考光斑位置中心间距M的变化，计为ΔM=P11-P10-P21-P20； 根据tanα=ΔMΔZ，其中α为去除相机运动轴倾斜影响后的管镜光轴倾斜角；计算出α的值； 根据式tanα=ΔLf，其中f为所述管镜焦距，计得所述管镜的对应轴偏量ΔL=f·tanα； 其中，所述步骤2）的执行顺序为以下任一种：在步骤1）之前、步骤1）之后且在步骤6）之前；所述步骤4）的执行顺序为以下任一种：在步骤1）之前、步骤1）之后且在步骤6）之前。

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