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龙图腾网获悉上海哈呐技术装备有限公司申请的专利一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119824381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510293614.1，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法是由徐盛炉;夏伟;沈聚丰;朱显君;马玉升;李龙哲设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及‌磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法，包括控制箱，还包括旋转镀膜组件，包括转动安装在镀膜箱中心处放置架，放置架上等角度放置有多个基材；溅射机构，包括固定安装在镀膜箱两侧的溅射箱，溅射箱中转动安装有圆柱靶材，溅射箱中转动安装有两个充气管，溅射机构还包括角度调节组件，其用于检测圆柱靶材的半径并根据检测半径调节充气管的出气角度。通过角度调节组件来监测圆柱靶材的实时半径，并根据该半径来调节充气管的角度，使得氩离子冲击在靶材上的角度维持在一定的角度，提高靶材的溅射效率，另外利用集气箱进行集气，并利用气流对靶材粒子进行加速，进一步提高溅射效率。

本发明授权一种可提高溅射效率的表面氧化装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种可提高溅射效率的表面氧化装置，包括控制箱（1）以及安装在控制箱（1）上的镀膜箱（2），其特征在于，还包括： 旋转镀膜组件，包括转动安装在镀膜箱（2）中心处放置架（201），所述放置架（201）上等角度放置有多个基材（202）； 溅射机构，包括固定安装在镀膜箱（2）两侧的溅射箱（5），所述溅射箱（5）中转动安装有圆柱靶材（6），所述溅射箱（5）中转动安装有两个充气管（7），且充气管（7）对称设置在圆柱靶材（6）的两侧，所述溅射机构还包括角度调节组件，其用于检测圆柱靶材（6）的半径并根据所测半径调节充气管（7）的出气角度，且出气角度范围在70度至80度； 所述溅射箱（5）中固定安装有固定杆（18），所述固定杆（18）的两端均滑动安装有限位架（10），所述圆柱靶材（6）被夹持于两个限位架（10）之间； 所述充气管（7）的底部固定连接有齿轮（25），所述溅射箱（5）中滑动安装有与齿轮（25）相适配的齿条（24），通过滑动所述齿条（24）改变充气管（7）的角度； 所述溅射箱（5）中固定安装有第二活塞管（22），且第二活塞管（22）中活动插设有第二活塞杆（23），所述齿条（24）和第二活塞杆（23）固定连接，所述固定杆（18）上固定安装有第一活塞管（19），所述第一活塞管（19）上活动插设有第一活塞杆（20），所述第一活塞杆（20）上设有转动架，所述转动架上转动安装有检测辊（21），且检测辊（21）与圆柱靶材（6）充分接触，所述第一活塞管（19）和第二活塞管（22）之间连接有第一连接管（26），所述第一活塞杆（20）上套设有复位弹簧； 其中，所述放置架（201）和圆柱靶材（6）之间设有用于同步驱动的传动组件。

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