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龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利晶圆的电阻率检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804995B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510289592.1，技术领域涉及：G01R27/08；该发明授权晶圆的电阻率检测装置及方法是由徐新华设计研发完成，并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的电阻率检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆的电阻率检测装置及方法，涉及检测技术领域，包括探头和测量仪，所述探头下端设置有四个探针，所述调节机构包括开设在所述探头内的容纳槽，所述容纳槽内转动连接有套筒，所述套筒上固定连接有靠近所述探针的第一连杆，所述套筒上转动连接有远离所述探针的第二连杆，所述第一连杆和第二连杆两端均铰接有摆杆，每个所述摆杆自由端均铰接有支撑杆，所述支撑杆与所述探头滑动连接，所述探针与相对应的所述支撑杆滑动连接，所述变换机构设置在所述容纳槽内，用于调节所述第一连杆和第二连杆处于平行状态或交错状态；本发明适用于需要频繁改变探针间距的检测要求，满足了多种测量电阻率的需求，提高检测便捷性。

本发明授权晶圆的电阻率检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的电阻率检测装置，包括探头（1）和测量仪（101），所述探头（1）下端设置有四个等距分布的探针（2），其特征在于，还包括： 调节机构（3），所述调节机构（3）包括开设在所述探头（1）内的容纳槽（301），所述容纳槽（301）内转动连接有套筒（302），所述套筒（302）上固定连接有靠近所述探针（2）的第一连杆（303），所述套筒（302）上转动连接有远离所述探针（2）的第二连杆（304），所述第一连杆（303）和第二连杆（304）两端均铰接有摆杆（305），每个所述摆杆（305）自由端均铰接有支撑杆（306），所述支撑杆（306）与所述探头（1）滑动连接，所述探针（2）与相对应的所述支撑杆（306）滑动连接； 变换机构（4），所述变换机构（4）设置在所述容纳槽（301）内，用于调节所述第一连杆（303）和第二连杆（304）处于平行状态或交错状态； 微调机构（5），所述微调机构（5）设置在所述探头（1）内，用于调节多个所述探针（2）之间的距离； 锁止机构（6），所述锁止机构（6）设置在所述容纳槽（301）内，用于对所述套筒（302）的转动锁止； 所述调节机构（3）还包括开设有在所述探头（1）上且与所述容纳槽（301）连通的导向槽（307），所述支撑杆（306）位于所述导向槽（307）内，所述支撑杆（306）上转动连接有转向块（308），所述转向块（308）与相对应的所述摆杆（305）自由端铰接连接； 所述变换机构（4）包括两个与所述容纳槽（301）内壁固定连接的阻挡板（401），两个所述阻挡板（401）的相对面均能够与所述第二连杆（304）接触，所述套筒（302）圆周侧开设有缓冲槽（402），所述缓冲槽（402）内滑动连接有缓冲块（403），所述缓冲块（403）与所述第二连杆（304）固定连接，所述套筒（302）内通过第一弹性件（404）与所述缓冲块（403）连接，当所述缓冲块（403）挤压所述第一弹性件（404）且与所述缓冲槽（402）一端接触时，此时所述第一连杆（303）和第二连杆（304）处于平行状态，当所述缓冲块（403）不再挤压所述第一弹性件（404）且与所述缓冲槽（402）另一端接触，此时所述第一连杆（303）与第二连杆（304）处于交错分布状态。

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