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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119650481B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510162295.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法是由路新春;赵德文;韩晓铠;马旭设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法。装载端口装置包括：主体；自主体水平凸出的装载台，装载台用于放置晶圆盒，晶圆盒构造成用于沿竖直方向间隔叠放晶圆；以及检测机构，其活动安装到主体，并且沿竖直方向可移动以依次检测晶圆盒中的晶圆，检测机构包括翘曲检测器和与翘曲检测器通信连接的分析器；翘曲检测器配置成向分析器发送翘曲检测信号，该翘曲检测信号随翘曲检测器到晶圆的水平距离减小而增大；分析器配置成基于所述翘曲检测信号及翘曲检测器的竖直位移确定晶圆的翘曲信息。根据本申请的技术方案，能够快速、准确地判断晶圆的翘曲情况，为后续晶圆传输过程和加工过程提供准确的晶圆信息。

本发明授权装载端口装置、前端装载装置、晶圆加工设备及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种装载端口装置，用于晶圆加工设备，其特征在于，所述装载端口装置包括： 主体； 自所述主体水平凸出的装载台，所述装载台用于放置晶圆盒，所述晶圆盒用于沿竖直方向间隔叠放晶圆，所述晶圆盒具有沿竖直方向设置的多个水平插槽,所述水平插槽自所述晶圆盒的侧壁向所述晶圆盒的内部延伸；以及 检测机构，其活动安装到所述主体，并且沿竖直方向可移动以依次检测所述晶圆盒中的晶圆，所述检测机构包括翘曲检测器、与所述翘曲检测器通信连接的分析器以及朝向所述侧壁设置的视觉检测器； 所述翘曲检测器配置成向所述分析器发送翘曲检测信号，所述翘曲检测信号随所述翘曲检测器到晶圆的水平距离减小而增大；所述分析器配置成基于所述翘曲检测信号及所述翘曲检测器的竖直位移确定晶圆的翘曲信息； 所述视觉检测器配置成：在其检测视野中构建以所述侧壁的内表面为起点、水平向内延伸的第一虚拟刻度尺，并读取晶圆的边缘对应的刻度以确定晶圆的边缘与所述侧壁的水平间距;并且，在其检测视野中构建以所述水平插槽的上表面为起点、竖直向上延伸的第二虚拟刻度尺，并读取晶圆的边缘对应的刻度以确定晶圆的边缘与所述水平插槽的竖直间距;在所述水平间距大于第一间距阈值并且所述竖直间距大于第二间距阈值时确定对应晶圆的翘曲方向为向上翘曲,在所述水平间距大于第一间距阈值并且所述竖直间距不大于第二间距阈值时确定对应晶圆的翘曲方向为向下翘曲。

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