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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利进气分流器、吹扫结构及工艺腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119565495B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510137291.7，技术领域涉及：B01J4/00；该发明授权进气分流器、吹扫结构及工艺腔室是由孙思强;王志勇;郑潇剑;陈兴设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本进气分流器、吹扫结构及工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请涉及工艺处理设备技术领域，尤其涉及到一种进气分流器、吹扫结构及工艺腔室。该进气分流器包括分流器本体；分流器本体具有第一端面、第二端面以及位于第一端面和第二端面之间的侧面；分流器本体设置有换向通道和导流通道，换向通道连通于侧面与第一端面之间，导流通道连通于第一端面和第二端面之间，换向通道和导流通道相互隔离。该进气分流器可以对吹扫气体进行流通方向的调整，使得吹扫气体能够通过换向通道和导流通道的导向流通到预设位置，以对吹扫结构的吹扫区域进行较为彻底的吹扫，防止出现吹扫盲区，影响吹扫效果。

本发明授权进气分流器、吹扫结构及工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1）； 所述分流器本体（1）具有第一端面（e1）、第二端面（e2）以及位于所述第一端面（e1）和所述第二端面（e2）之间的侧面（e3）；所述分流器本体（1）设置有换向通道（C1）和导流通道（C2），所述换向通道（C1）包括匀气槽（C11）和至少两个分气孔（C12），所述匀气槽（C11）设置于所述分流器本体（1）的侧面（e3），所述至少两个分气孔（C12）连通于所述匀气槽（C11）与所述第一端面（e1）之间，所述导流通道（C2）连通于所述第一端面（e1）和所述第二端面（e2）之间，所述换向通道（C1）和所述导流通道（C2）相互隔离； 所述进气分流器（10）用于安装至设于工艺腔室的腔体的吹扫结构（100）的结构本体（20）内，其中，所述结构本体（20）具有开口槽（201）以及与所述开口槽（201）连通的吹扫口（d），所述进气分流器（10）设于所述开口槽（201）内，所述分流器本体（1）的侧面（e3）用于与所述开口槽（201）配合，所述分流器本体（1）的第一端面（e1）用于朝向所述开口槽（201）的槽底并与所述槽底具有一定的距离，所述换向通道（C1）用于与所述吹扫口（d）连通。

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