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龙图腾网获悉深圳市辰中科技有限公司;深圳市晶相技术有限公司申请的专利晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119480740B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510059126.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法是由陈卫军;欧阳增图设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种晶圆盒搬运机器人，晶圆盒搬运机器人，包括：底座，其内部设置有抽拉板，抽拉板滑动连接于底座上；第一移动组件，滑动连接于抽拉板上；第二移动组件，枢转连接于第一移动组件上；机械手，枢转连接于第二移动组件上，机械手用于搬运晶圆盒；以及装载架，连接于底座上，装载架上设置有定位套框，定位套框用以放置晶圆盒；其中，当抽拉板位于底座内部时，第二移动组件的移动方向、机械手的延伸方向和抽拉板的延伸方向平行；当抽拉板抽拉于底座外部时，第二移动组件的移动方向与抽拉板的延伸方向垂直，机械手的延伸方向与抽拉板的延伸方向平行。本发明可提高晶圆盒的搬运效率，保证晶圆转移的安全性和完整性。

本发明授权晶圆盒搬运机器人、晶圆盒搬运方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒搬运机器人，其特征在于，包括： 底座，其内部设置有抽拉板，所述抽拉板滑动连接于所述底座内； 第一移动组件，滑动连接于所述抽拉板上； 第二移动组件，枢转连接于所述第一移动组件上； 机械手，枢转连接于所述第二移动组件上，所述机械手用于搬运晶圆盒；以及 装载架，连接于所述底座上，所述装载架上设置有定位套框，所述定位套框用以放置晶圆盒； 其中，当所述抽拉板位于所述底座内部时，所述第二移动组件的移动方向、所述机械手的延伸方向和所述抽拉板的延伸方向平行； 当所述抽拉板位于所述底座外部时，所述第二移动组件的移动方向与所述抽拉板的延伸方向垂直，所述机械手的延伸方向与所述抽拉板的延伸方向平行； 所述机械手包括连接臂、移动臂和夹持臂，所述连接臂连接于所述第二移动组件上，所述移动臂枢转连接于所述连接臂上，所述夹持臂枢转连接于所述移动臂上； 其中，所述夹持臂包括第一夹板、第二夹板、第一平行板、第二平行板、第一交叉杆和第二交叉杆，所述第一夹板与所述第二夹板相对立，以夹取晶圆盒；所述第一平行板、所述第二平行板分别连接于所述第一夹板、所述第二夹板上，所述第一平行板和所述第二平行板之间由所述第一交叉杆和所述第二交叉杆转动连接，所述第一平行板和所述第二平行板之间平行； 所述夹持臂还包括： 固定板，所述固定板上开设有弧形槽； 第一连接杆，滑动连接于第一弧形槽内，所述第一连接杆上连接有所述第一夹板；以及 第二连接杆，滑动连接于第二弧形槽内，所述第二连接杆上连接有所述第二夹板； 其中，靠近所述第一夹板的一侧，所述第一弧形槽与所述第二弧形槽之间的距离记为第一距离，远离所述第一夹板的一侧，所述第一弧形槽与所述第二弧形槽之间的距离记为第二距离，所述第一距离大于所述第二距离； 所述第一弧形槽对应的圆心、所述第二弧形槽对应的圆心位于远离所述第一夹板的一侧； 其中，在所述第一交叉杆、所述第二交叉杆、所述第一连接杆、所述第二连接杆的作用下，所述第一平行板、所述第二平行板形成平行四边形的两边，所述第一交叉杆、所述第二交叉杆形成平行四边形的两条对角线，以实现所述第一平行板、所述第二平行板之间一直处于平行状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市辰中科技有限公司;深圳市晶相技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区深南大道6023号耀华创建大厦901；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。