买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉珠海市申科谱工业科技有限公司申请的专利一种晶圆开槽双光路激光结构及切割方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119457504B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510054457.9，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权一种晶圆开槽双光路激光结构及切割方法是由胡学安;张振富;安珂;钟函君;李峰;宋斌杰;关力设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆开槽双光路激光结构及切割方法在说明书摘要公布了：本发明旨在提供一种结构简单、双细光束和宽激光可同时作业、独立的激光模组可调节完成双细光束和宽激光切割的晶圆开槽双光路激光结构及切割方法。本发明包括双细激光模组和宽激光模组，双细激光模组包括第一激光器，第一激光器分别通过第一波片、第一扩束镜、第一光闸、分光束棱镜以及第一聚焦镜与外部运动载台上的加工件相配合，宽激光模组包括第二激光器，第二激光器分别通过第二波片、第二扩束镜、第二光闸、光罩、光学透镜模组以及第二聚焦镜与外部运动载台上的加工件相配合；切割方法包括双细激光模组进行双细光激光切割、宽激光模组同步进行宽激光切割、单台激光器故障时进行激光调节。本发明应用于产品激光切割的技术领域。

本发明授权一种晶圆开槽双光路激光结构及切割方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆开槽双光路激光结构，包括双细激光模组和宽激光模组，其特征在于：所述双细激光模组包括第一激光器（1），所述第一激光器（1）分别通过第一波片（2）、第一扩束镜（3）、第一光闸（4）、分光束棱镜（5）以及第一聚焦镜（6）与外部运动载台（7）上的加工件（8）相配合，所述宽激光模组包括第二激光器（9），所述第二激光器（9）分别通过第二波片（10）、第二扩束镜（11）、第二光闸（12）、光罩（13）、光学透镜模组（14）以及第二聚焦镜（15）与所述外部运动载台（7）上的所述加工件（8）相配合；所述第一波片（2）后端和所述第二波片（10）后端之间设置有偏振分光棱镜（16）；所述光学透镜模组（14）包括平凸光学透镜（141）和平凹光学透镜（142），所述平凸光学透镜（141）两端与所述光罩（13）和所述平凹光学透镜（142）相配合，所述平凹光学透镜（142）两端与所述平凸光学透镜（141）和所述第二聚焦镜（15）相配合；所述第一激光器（1）通过第一反射镜（17）与所述第一波片（2）相配合，所述偏振分光棱镜（16）通过第二反射镜（18）与所述第一扩束镜（3）相配合，所述第一扩束镜（3）通过第三反射镜（19）与所述第一光闸（4）相配合，所述分光束棱镜（5）通过第四反射镜（20）和第五反射镜（21）与所述第一聚焦镜（6）相配合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海市申科谱工业科技有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市斗门区井岸镇洋青街10号2栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。