昆山普乐斯电子科技有限公司郭峰获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山普乐斯电子科技有限公司申请的专利同轴金属电极等离子体放电装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119383814B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411961467.2，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权同轴金属电极等离子体放电装置是由郭峰;王宇;张瑞设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本同轴金属电极等离子体放电装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种同轴金属电极等离子体放电装置，包括同轴设于反应腔体内的阳电极和阴电极，阳电极与阴电极之间即为等离子生成区域，这种同轴设置的双电极结构，能够在低压真空状态下获得真正意义上的顺流等离子体。阳电极的表面开设有多个通孔，顺流等离子体的大部分电子、离子被约束在电极之间来回震荡，更多的亚稳态原子、受激分子、自由基等活性基团通过通孔聚集在阳电极外部并与材料接触反应。本发明是根据等离子体顺流放电的原理进行设计，由于反应时没有遮挡和盲区，而且放电稳定，均匀性好，对材料表面温度比较敏感，尤其是高分子材料片材、薄膜的清洗、活化、聚合等颇具优势，具有广阔的工业应用前景。
本发明授权同轴金属电极等离子体放电装置在权利要求书中公布了：1.同轴金属电极等离子体放电装置，其特征在于： 包括箱体（1），箱体（1）的内部设有反应内腔（11）； 气体输入组件（2），用于向反应内腔（11）通入工艺气体； 等离子发生组件（4），用于向反应内腔（11）提供激发能量，电离工艺气体产生等离子体； 真空发生组件（3），用于为反应内腔（11）提供和维持真空反应环境； 以及多组设于反应内腔（11）中的电极馈入组件（5），用于连接反应内腔（11）和等离子发生组件（4），每组电极馈入组件（5）由一柱状阴电极（51）和一同轴套设于阴电极（51）外侧的阳电极（52）组成，以在阴电极（51）与阳电极（52）之间产生等离子体，沿阳电极（52）的圆周均匀排布设有多个通孔（53）； 还设有温控组件（6），所述温控组件（6）包括设于箱体（1）外侧的温控源（61），所述温控源（61）内装载有液体介质，所述温控源（61）通过循环管路（62）将液体介质传输至各个阴电极（51）内。
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