买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利晶圆承载台及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119319525B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411873999.0，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权晶圆承载台及化学机械抛光设备是由夏佳琪;吴兴;徐海洋设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆承载台及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆承载台及化学机械抛光设备。该晶圆承载台包括：平台，用于放置工件；摆动轴，固定连接于所述平台；支撑机构，所述摆动轴可摆动地连接于所述支撑机构，底座，开设有容置孔，所述支撑机构设置于所述容置孔，并且，所述摆动轴随着所述平台摆动时所述支撑机构可对所述摆动轴提供轴向缓冲支撑；弹性机构，设置于所述平台与所述底座之间，用于在所述平台摆动时发生形变以适应性支撑所述平台。在平台摆动过程中，由于本申请中的支撑机构始终沿着容置孔的轴向移动，对平台进行有效定位，防止轴心的偏移，从而保证了平台在抛光作业中的稳定性。

本发明授权晶圆承载台及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载台，其特征在于，包括： 平台，用于放置工件； 摆动轴，固定连接于所述平台中心； 底座，中心开设容置孔； 支撑机构，设置于所述容置孔，所述摆动轴可摆动地连接于所述支撑机构，所述摆动轴随所述平台摆动时所述支撑机构对所述摆动轴提供轴向缓冲支撑； 弹性机构，设置于所述平台与所述底座之间，用于在所述平台摆动时发生形变以适应性支撑所述平台； 所述支撑机构包括设置于所述容置孔的摆动支撑件和弹性支撑件，所述摆动支撑件沿所述容置孔的轴向可移动并与所述弹性支撑件相压接，所述弹性支撑件用于在所述摆动支撑件沿所述容置孔轴向移动时发生形变，以对所述摆动支撑件缓冲支撑；所述摆动支撑件包括支撑座和支撑体，所述摆动轴设置于所述支撑体的第一安装孔内；所述支撑座开设有具有球状内表面的第二安装孔，所述支撑体具有适配于第二安装孔的球形外表面，以与所述支撑座可摆动地相连接； 所述晶圆承载台还包括固定连接于所述底座的限位销和与所述平台可摆动连接的摆动件；所述摆动件包括安装座和摆动体，所述安装座与所述平台固定连接，所述限位销部分置于所述摆动体的柱状孔内，所述平台摆动时所述摆动件可沿所述限位销移动；所述安装座开设有具有球形内表面的第三安装孔，所述摆动体具有适配于第三安装孔的球形外表面，以与所述安装座可摆动地相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。