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龙图腾网获悉芯率智能科技(苏州)有限公司申请的专利一种机台的数据分类方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119691623B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411885988.4，技术领域涉及：G06F18/2431；该发明授权一种机台的数据分类方法及系统是由姚文全;鲁成龙;蒋晓军设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种机台的数据分类方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆数据处理技术领域，具体涉及一种机台的数据分类方法及系统，其包括：获取反应机台的工作指标的数据点，根据数据点拟合多个第一数值曲线，对其进行数据处理以获取到多个第二数值曲线；从多个第二数值曲线中分选出一类曲线，且一类曲线与第一参考曲线之间的相似度小于或等于第一相似阈值；获取多个故障类型，并根据故障类型分别确定对应的多个数据变化类型；根据多个数据变化类型对多个一类曲线执行第二次分类操作，以将一类曲线分为多个曲线数据集。本发明提出了一种基于曲线变化特征的多级分类方法，以对海量的数据点进行预处理及重点分类，进而便于晶圆工程师对其进行针对性地介入分析。

本发明授权一种机台的数据分类方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种机台的数据分类方法，其特征在于，包括步骤： S100，从至少一个机台中获取到多个数据点，多个所述数据点用于反应所述机台的至少一项工作指标； S101，根据多个所述数据点分别拟合得到对应所述机台的多个第一数值曲线； S102，对多个所述第一数值曲线进行数据处理，以对应地获取到多个第二数值曲线，其中，所述数据处理的方法包括：一类处理方法，所述一类处理方法用于计算所述第一数值曲线的变化趋势，和或，二类处理方法，所述二类处理方法用于放大所述第一数值曲线的变化趋势； S103，对多个所述第二数值曲线执行第一次分类操作，以从多个所述第二数值曲线中分选出一类曲线，其中，所述一类曲线与预存的第一参考曲线之间的相似度小于或等于设定的第一相似阈值； S104，获取多个故障类型，并根据所述故障类型分别确定对应的多个数据变化类型，其中，所述数据变化类型用于描述所述一类曲线中的数据变化的第一特征趋势，所述故障类型包括：第一典型故障类型，且一个所述第一典型故障类型对应有至少一个所述数据变化类型； S105，根据所述多个数据变化类型对多个所述一类曲线执行第二次分类操作，以将所述一类曲线分为多个曲线数据集，且一个所述曲线数据集包括：多个所述一类曲线，且多个所述一类曲线具有相同或相近的所述数据变化类型。

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