恭喜中国科学院理化技术研究所陈六彪获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院理化技术研究所申请的专利对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110246734B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910411581.0,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法是由陈六彪;王俊杰;崔晨;顾开选;郭嘉设计研发完成,并于2019-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及电子显微镜样品台冷却技术领域,提供一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法。本发明提供的制冷系统包括第一真空腔体、第二真空腔体、对置式压缩机、制冷机及样品台,制冷机位于第一真空腔体内,样品台位于第二真空腔体内,对置式压缩机位于第一真空腔体外并与制冷机柔性连接,制冷机的冷头与样品台相连。本发明提供的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统,对置式压缩机带动制冷机制冷,制冷机产生的冷量传递至样品台以降低样品台的温度,从而满足不同样品测量环境的温度要求,适用性高;对置式压缩机与制冷机分别位于第一真空腔体的外部和内部,相互分离设置,两者之间柔性连接,减小样品台的振动。
本发明授权对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统,包括第一真空腔体及第二真空腔体,其特征在于,还包括对置式压缩机、制冷机及样品台,所述制冷机位于所述第一真空腔体内,所述样品台位于所述第二真空腔体内,所述对置式压缩机位于第一真空腔体外并与所述制冷机柔性连接,所述制冷机的冷头与所述样品台相连。
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