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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛创芯半导体设备有限公司申请的专利一种倒角设备和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119897775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510397851.2，技术领域涉及：B24B9/06；该发明授权一种倒角设备和方法是由朱亮;李阳健;赵志鹏;先泽文设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种倒角设备和方法在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆加工领域，尤其是涉及一种倒角设备和方法，倒角设备，包括：倒角机构，倒角机构包括：第一砂轮，第一砂轮具有横向设置的第一转轴，第一砂轮可绕第一转轴自转；第一砂轮用于磨削晶圆的边缘；载体机构，载体机构位于倒角机构的一侧，载体机构包括：基座；转台，转台用于承载晶圆并带动晶圆旋转，以使得晶圆的轴侧与第一砂轮接触以实现倒角；以及隔档机构，隔档机构包括：喷嘴，喷嘴位于转台和第一砂轮之间，喷嘴连接于基座，喷嘴用于朝向晶圆的下表面以形成隔绝转台和第一砂轮的气屏。解决了倒角设备的生产效率和生产品质低的技术问题，达到提高倒角设备的生产效率和生产品质的技术效果。

本发明授权一种倒角设备和方法在权利要求书中公布了：1.一种倒角设备，其特征在于，包括： 倒角机构（100），所述倒角机构（100）包括： 第一砂轮（110），所述第一砂轮（110）具有横向设置的第一转轴，所述第一砂轮（110）可绕所述第一转轴自转；所述第一砂轮（110）用于磨削晶圆（400）的边缘； 载体机构（200），所述载体机构（200）位于所述倒角机构（100）的一侧，所述载体机构（200）包括： 基座（210）； 转台（220），所述转台（220）转动连接于所述基座（210），所述转台（220）具有竖直设置的轴向且所述转台（220）可绕竖直设置的轴向旋转，所述转台（220）具有吸附功能，所述转台（220）用于承载晶圆（400）并带动晶圆（400）旋转，以使得晶圆（400）的轴侧与所述第一砂轮（110）接触以实现倒角； 其中，晶圆（400）与所述第一砂轮（110）接触形成有第一接触区（410），所述倒角机构（100）可相对于所述载体机构（200）活动，以调节所述第一接触区（410）在晶圆（400）边缘的形成位置；以及 隔档机构（300），所述隔档机构（300）包括： 喷嘴（310），所述喷嘴（310）位于所述转台（220）和所述第一砂轮（110）之间，所述喷嘴（310）连接于所述基座（210），所述喷嘴（310）用于朝向晶圆（400）的下表面以形成隔绝所述转台（220）和所述第一砂轮（110）的气屏（311）； 所述喷嘴（310）设置有多个，多个所述喷嘴（310）沿直线排列，多个所述喷嘴（310）在晶圆（400）上的投影长度为L1，多个所述喷嘴（310）的排列长度为L2，L1＜L2； 所述喷嘴（310）的排列的两端分别位于所述喷嘴（310）在晶圆（400）上的投影的外侧； 定义喷嘴（310）在晶圆（400）边缘上的投影具有第一位置（340）和第二位置（350），晶圆（400）的转动方向为自第一位置（340）向第二位置（350）旋转； 在第二位置（350）的上方设置有收集机构（600），所述收集机构（600）用于收集位于晶圆（400）上表面的碎屑（500）； 投影位于晶圆（400）外侧的喷嘴（310）向上形成有气流通道，喷嘴（310）向所述气流通道内供气以带动碎屑（500）；所述收集机构（600）包括： 静电件，所述静电件设置于所述气流通道内，所述静电件具有静电以吸附气流中的碎屑（500）。

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