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龙图腾网获悉青岛华芯晶电科技有限公司;同济大学申请的专利蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119877107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510368827.6，技术领域涉及：C30B33/02；该发明授权蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法是由郑东;肖迪;徐军;高翔;刘奔;宋百乐;赵俊竹设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及在线监测与控制技术领域，是蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法，具体方法包括：对电源纹波数据与进行特征匹配处理，获取时钟偏移补偿值，通过时钟偏移补偿值将电源纹波数据与温控器数据进行时间戳同步；计算获取分布式温控器的移残余时钟偏移，建立首轮监测模型，对退火炉的运行状态进行首轮评估；对蓝宝石的基底接触应力场进行重构处理，对退火炉的运行状态进行次轮评估；根据首轮评估结果和次轮评估结果动态调整退火炉的控制参数。本发明解决了现有技术中因退火炉老化导致的电源波动、时钟漂移及热应力监测失效的问题。

本发明授权蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法在权利要求书中公布了：1.蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法，其特征在于，所述方法包括： S1：采集退火炉的电源纹波数据，对电源纹波数据与进行特征匹配处理； S11：预设监测频率范围，并在电源输入端嵌入氮化铝绝缘层声表面波滤波器； S12：启动退火炉并使其进入正常工作状态，通过耐温电流探头获取运行中的退火炉在监测频率范围的纹波电流信号； S13：将采集到的纹波电流信号转换为纹波频谱数据，并通过滤波算法去除纹波频谱数据中的噪声，同时对经过噪声处理后的纹波频谱数据进行归一化处理； S14：将纹波频谱数据划分为多个单位纹波频谱，在每个单位纹波频谱中捕捉动态特征点，并将所述动态特征点导入波形相似指数计算策略中，根据波形相似指数对电源纹波数据与进行特征匹配处理； 所述动态特征点包括：当前单位纹波频谱上升沿的最大斜率值、当前单位纹波频谱的纹波峰值电压和当前单位纹波频谱的曲率拐点处的时间值； S15：预设相似偏离基线值，并通过指数平滑法动态更新相似偏离基线值，当单位纹波频谱的波形相似指数大于相似偏离基线值时，标记当前单位纹波频谱为纹波特征异常； S2：根据特征匹配结果确定分布式温控器的时钟补偿策略，并根据时钟补偿策略获取时钟偏移补偿值，通过时钟偏移补偿值将电源纹波数据与温控器数据进行时间戳同步； S3：在时间戳同步完成后，重新提取退火炉电源纹波数据的谐波相位偏并计算获取分布式温控器的移残余时钟偏移，建立首轮监测模型，对退火炉的运行状态进行首轮评估； S31：在时间戳同步完成后，重新提取退火炉标记为纹波特征异常的电源纹波数据的谐波相位偏均值、谐波频率均值以及谐波电流； S32：计算获取分布式温控器的移残余时钟偏移，建立首轮监测模型，对退火炉的运行状态进行首轮评估； 所述首轮监测模型包括：应力影响评估层、抗冲击能力评估层和首轮控制协议触发层； 将谐波相位偏移均值及移残余时钟偏移导入应力影响评估层，输出评估结果，具体为：； 表示与晶体监测方向相关的载流子迁移率；为热应变速率；为转换系数； 获取蓝宝石晶体边缘温度和蓝宝石晶体中心温度导入抗冲击能力评估层，输出评估结果具体为：；为失效临界系数；为蓝宝石晶体的热阻系数；为蓝宝石晶体在垂直方向上的热导率； 分别为蓝宝石晶体边缘温度和蓝宝石晶体中心温度； 所述首轮控制协议触发层的触发策略具体为：当应力影响评估层的输出结果大于抗冲击能力评估层的输出结果时，输出退火炉的运行状态异常，触发蓝宝石晶格的红色紧急抢救协议； 当应力影响评估层的输出结果小于或等于抗冲击能力评估层的输出结果时，进入次轮监测模型； S4：对蓝宝石的基底接触应力场进行重构处理，建立次轮监测模型，将蓝宝石的基底接触应力输入至次轮监测模型对退火炉的运行状态进行次轮评估； 所述蓝宝石的基底接触应力场的重构具体为： ； 为基底接触应力；为压电常数；分别为真空介电常数和蓝宝石相对介电常数；A为电极面积； 所述次轮监测模型包括： 计算获取蓝宝石的退火健康指数HIT，设置第一级退火健康阈值及第二级退火健康阈值，其中，； 将蓝宝石的退火健康指数与第一级退火健康阈值进行比较，当蓝宝石的退火健康指数大于或等于第一级退火健康阈值时，触发橙色抢救协议； 当蓝宝石的退火健康指数小于第一级退火健康阈值且大于或等于第二级退火健康阈值时，触发黄色抢救协议； 当蓝宝石的退火健康指数小于第二级退火健康阈值时，输出退火炉运行状态正常； S5：根据首轮评估结果和次轮评估结果动态调整退火炉的运行状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人青岛华芯晶电科技有限公司;同济大学，其通讯地址为：266000 山东省青岛市高新区河东路383号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。