北京精恒工控科技有限公司廖占强获国家专利权
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龙图腾网获悉北京精恒工控科技有限公司申请的专利用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119839457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510346812.X，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统是由廖占强设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及激光刻蚀技术领域，公开了用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统，该方法包括：基于石英晶体初始应力分布生成双面互补刻蚀路径。同步控制正反面激光能量输入，以使双面热应力场形成动态平衡。基于光谱分析实时获取刻蚀区域的应力梯度分布。根据应力梯度与目标阈值的偏差量，动态调整激光加工参数组合，并在终局加工阶段启动形貌‑应力耦合优化模式。本发明通过精准控制激光加工过程中的热应力平衡和应力梯度分布，能够有效减小石英晶体的残余应力，优化其形貌和性能，从而提高加工精度、材料稳定性和器件可靠性。
本发明授权用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种用于石英晶体的激光双面刻蚀应力控制方法，其特征在于，包括： 基于石英晶体初始应力分布生成双面互补刻蚀路径； 同步控制正反面激光能量输入，以使双面热应力场形成动态平衡； 基于光谱分析实时获取刻蚀区域的应力梯度分布； 根据应力梯度与目标阈值的偏差量，动态调整激光加工参数组合，并在终局加工阶段启动形貌-应力耦合优化模式； 同步控制正反面激光能量输入，以使双面热应力场形成动态平衡时，包括： 根据脉冲相位差反馈调节双激光头的触发时序； 基于热应力场对称性分析动态匹配正反面能量比例； 当检测到单面热累积与预设热累积之间的关系，确定是否自动启动反向补偿刻蚀； 根据应力梯度与目标阈值的偏差量，动态调整激光加工参数组合时，包括： 获取两侧应力梯度，并根据应力梯度与材料屈服临界值之间的关系，确定高应力侧，并降低高应力侧激光功率； 根据热扩散速率与刻蚀速率的比值调节扫描速度，并基于离焦量变化控制有效作用深度。
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