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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119901754B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510345084.0，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法是由杨青;胡慧琴;路天畅;金伟正;徐月暑;崔玉栋;匡翠方;刘旭设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括：双光梳光源模块、空间编码照明模块、时间编程控制模块、信号采集处理模块及数据分析处理模块，数据分析处理模块接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并进行分析，提取缺陷相关特征，建立光谱特征与缺陷之间的映射关系，对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类和位置信息。本发明采用基于双光梳时空编码的晶圆缺陷检测技术，利用双光梳干涉技术实现快速扫描和并行探测，大幅提高检测效率，本发明能够获得晶圆表面的绝对距离信息，将此结果反馈给精密气浮运动平台可以省去自动对焦光路系统及反馈控制部分，提高检测效率，降低整个晶圆检测系统的体积、复杂度和成本。

本发明授权基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于双光梳时空编码的图案化晶圆缺陷检测系统，其特征在于，包括： 双光梳光源模块，提供信号光梳和参考光梳； 空间编码照明模块，包括空间耦合单元、色散分光单元、扩束单元、编码单元及照射接收单元，空间耦合单元接收信号光梳并转换为空间光，色散分光单元对空间光进行多光束干涉并纵向分离进而进行横向色散展开后进入扩束单元，编码单元形成二维空间编码光场，照射接收单元接收二维空间编码光场并照射在晶圆表面形成反射信号； 所述空间耦合单元包括准直器，所述色散分光单元包括第一分束器和第二分束器； 信号光梳经过环形器和准直器后，入射至第一分束器形成第一束光和第二束光； 第一束光通过参考镜形成反射光作为距离参考，第二束光进入扩束单元经过编码单元形成二维空间编码光场进而照射在晶圆表面形成反射信号，反射信号依次进入扩束单元、环形器和第二分束器中，所述第二分束器将反射信号分成第一反射信号和第二反射信号，第一反射信号进入光学时间鉴相器； 还包括分光合束单元，分光合束单元包括第三分束器和合束器； 第三分束器将参考光梳分成第一路光和第二路光，第一路光进入光学时间鉴相器与第一反射信号通过光学时间鉴相器进行时间鉴相，得到整个波包的绝对距离信息； 所述合束器接收第二路光及第二反射信号，进而形成时域拍频信号； 时间编程控制模块，接收反射信号并反射信号和参考光梳进行同步锁定形成时间编程光梳对，基于时间编程光梳对进行时间测量得到绝对距离信息，控制时间编程光梳对之间的相对时间延时量，形成具有不同重复频率的时域拍频信号； 所述时间编程控制模块包括数字锁定控制器、光学时间鉴相器及双光梳互扫控制器，所述数字锁定控制器将时间编程光梳对的关键参数锁定至共同的时间参考上，对时间编程光梳对的重复频率和载波包络偏移频率进行测量进而进行锁定； 双光梳互扫控制器对可编程光梳的相位参数进行调节，使得参考光梳与反射信号同步并建立可编程控制的相位关系，得到参考光梳与反射信号之间的相对时间延时量； 所述相对时间延时量，表示如下： 其中，表示参考光梳和信号光梳间的相对时间延时量，N表示梳齿个数，,分别表示参考光梳与信号光梳的初始相位，,分别表示参考光梳与信号光梳的第N根梳齿的相位，表示光梳的重复频率； 信号采集处理模块，采集时域拍频信号并提取射频梳的光谱强度信息，将光谱强度信息进行取相位及解包裹计算，得到相位信息并结合光谱强度信息，得到晶圆表面的复原三维形貌信息； 数据分析处理模块，接收待测晶圆表面的复原三维形貌信息并通过缺陷识别模型对晶圆表面缺陷进行识别得到相应的缺陷种类及光谱信息，基于预设映射关系，确定晶圆表面缺陷的位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学杭州国际科创中心，其通讯地址为：310000 浙江省杭州市萧山区建设三路733号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。