杭州中为光电技术有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司张杭军获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州中为光电技术有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利升降装置及晶锭上下料加工系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119852225B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510334855.6,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权升降装置及晶锭上下料加工系统是由张杭军;谢龙辉;张齐;叶晓彪;严顺康;杨波;严吴越设计研发完成,并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降装置及晶锭上下料加工系统在说明书摘要公布了:本申请提供了一种升降装置及晶锭上下料加工系统,属于晶锭输送技术领域,解决了现有技术无法及时检测晶锭输送带的松紧度的问题。本申请的升降装置包括基板、输送机构以及第一传感器。其中,输送机构包括输送轮和驱动件,输送轮为多个且分别设置于基板上,输送轮用于输送输送带,输送轮具有径向移动的移动自由度,输送轮可由输送带的施压作用而径向移动,驱动件作用于输送轮以驱动输送轮转动输送输送带。第一传感器为距离传感器,距离传感器具有检测端,检测端设置于输送轮上或输送轮的移动路径上以检测输送轮的移动距离。本申请利用距离传感器检测输送轮的位置变化,可以计算得到输送轮的移动距离,从而可以实时且高精度监测输送带的松紧度。
本发明授权升降装置及晶锭上下料加工系统在权利要求书中公布了:1.一种升降装置100,其特征在于,包括: 基板110,所述基板110上设有安装座140,所述安装座140开设有导向孔141,所述导向孔141内壁包括上孔壁1411、下孔壁1412以及两个侧孔壁1413; 输送机构120,所述输送机构120包括: 输送轮121,所述输送轮121为多个且分别设置于所述基板110上,所述输送轮121用于输送输送带S,所述输送轮121具有径向移动的移动自由度,所述输送轮121可由输送带S的施压作用而径向移动; 驱动件122,所述驱动件122作用于所述输送轮121以驱动所述输送轮121转动输送输送带S; 转轴123,所述转轴123连接于所述输送轮121的转动中心,所述转轴123至少部分位于所述导向孔141内,且所述转轴123具有在所述导向孔141内径向移动的移动自由度,所述转轴123包括: 第一轴体1231,所述第一轴体1231和所述输送轮121固定连接; 第二轴体1232,所述第二轴体1232和所述第一轴体1231轴向连接,所述第二轴体1232与所述第一轴体1231具有相对转动的转动自由度,所述第二轴体1232外圈的上表面与所述上孔壁1411耦合,所述第二轴体1232外圈的下表面与所述下孔壁1412耦合;以及 第一传感器130,所述第一传感器130为距离传感器,所述距离传感器具有检测端131,所述检测端131作用于所述转轴123以检测所述转轴123的移动距离; 其中,两个所述侧孔壁1413之间的间隙大于所述转轴123的外径,所述上孔壁1411和所述下孔壁1412至少与所述转轴123外圈部分耦合以限制所述转轴123在竖直方向上蹿动。
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