滁州华瑞微电子科技有限公司胡振华获国家专利权
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龙图腾网获悉滁州华瑞微电子科技有限公司申请的专利一种管式氧化扩散炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119845038B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510326105.4，技术领域涉及：F27B17/00；该发明授权一种管式氧化扩散炉是由胡振华设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种管式氧化扩散炉在说明书摘要公布了：本发明公开了一种管式氧化扩散炉，涉及氧化扩散炉技术领域，包括保温层，保温层内设置有加热组件，保温层内还固定安装有外炉管，外炉管内滑动安装有内炉管；内炉管的内端开设有圆槽，内炉管的外端安装有端盖。内炉管上开设有进气孔和出气孔，外炉管上开设有进气槽以及出气槽；保温层上开设有进气道以及出气道；保温层上滑动安装有密封板，密封板上开设有通槽。本发明中内炉管能够相对外炉管平移，当操作人员打开端盖取出石英舟时，从内炉管中溢出的空气温度较低，不会对操作人员的人身安全造成隐患。通过外力推动内炉管向内移动复位的过程中，外炉管内的热空气通过圆槽回到内炉管中，下次氧化作业前预热所需的热量较少，降低了设备的能耗。
本发明授权一种管式氧化扩散炉在权利要求书中公布了：1.一种管式氧化扩散炉，包括保温层1，保温层1内设置有加热组件2，其特征在于，保温层1内还固定安装有与其相贴合的外炉管3，外炉管3内沿其长度方向滑动安装有内炉管4；内炉管4的内端开设有圆槽401，内炉管4的外端安装有端盖5；拉出内炉管4过程中，内炉管4内的高温气体通过圆槽401进入外炉管3内；推回内炉管4过程中，外炉管3内的高温气体通过圆槽401回到内炉管4中； 所述内炉管4上开设有进气孔402和出气孔403，外炉管3上开设有与进气孔402配合的进气槽301以及与出气孔403配合的出气槽302；保温层1上开设有与进气槽301配合的进气道101以及与出气槽302配合的出气道102； 所述保温层1上滑动安装有与出气道102配合的密封板6，密封板6上开设有通槽601。
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