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南京银茂微电子制造有限公司庄伟东获国家专利权

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龙图腾网获悉南京银茂微电子制造有限公司申请的专利一种用于芯片加工的超声波气相清洗机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119793986B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510304121.3,技术领域涉及:B08B3/12;该发明授权一种用于芯片加工的超声波气相清洗机是由庄伟东设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于芯片加工的超声波气相清洗机在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于芯片加工的超声波气相清洗机,涉及超声波气相清洗领域,包括正面设置有存放仓的机箱,所述机箱的外表面设置有存放仓,用于临时放置芯片和清洁液,所述机箱靠近放置台的一端固定连接有按钮板,还包括:清洗仓,提供了封闭的清洗芯片的封闭环境;盖板单元,用于封盖清洗仓并具有了隔离较大污渍的作用;承载单元,用于安放芯片并确保芯片在清洗过程中稳固放置;气相循环单元,用于释放清洗液蒸汽,以及冷凝并净化回收清洗液并实现循环利用,工作时气相循环单元会将清洗液加热蒸发并以喷雾的状态喷出,伴随着超声波的加持,从而对待加工芯片上的杂质进行清除,同时气相循环单元还会净化冷凝过后的清洁液并实现循环利用。

本发明授权一种用于芯片加工的超声波气相清洗机在权利要求书中公布了:1.一种用于芯片加工的超声波气相清洗机,包括正面设置有存放仓的机箱,所述机箱的外表面设置有存放仓,用于临时放置芯片和清洁液,所述机箱靠近放置台的一端固定连接有按钮板,其特征在于,还包括: 清洗仓,提供了封闭的清洗芯片的封闭环境; 盖板单元,用于封盖清洗仓并具有了隔离污渍的作用; 承载单元,用于安放芯片并确保芯片在清洗过程中稳固放置; 气相循环单元,用于释放清洗液蒸汽,以及冷凝并净化回收清洗液并实现循环利用; 所述清洗仓包括设置在中段的隔板,隔板将清洗仓分离为上下两仓,上方的仓用于清洗芯片,下方仓用于冷凝回收清洗液,所述隔板的顶部对称设置有支撑板一,所述支撑板一上设置有表面具有弧度和纹理的反射面的超声波反射板,用于将超声波反射并聚焦到腔室的各个角落,确保芯片的每一个部位都能受到均匀的超声作用,所述隔板的外表面固定连接有入水口,下方仓上设置有斜面; 所述承载单元包括伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有转轴,所述转轴远离伺服电机的一端固定连接有放置板,该放置板设置有其表面设计有与芯片外形匹配的凹槽,所述放置板的内壁设置有夹持块,所述放置板的两侧对称设置有磁块一,所述夹持块用于放置加工芯片,可确加工保芯片在清洗过程中稳固放置,避免因超声波振动而产生位移,所述放置板的外表面固定连接有刷水机构; 所述刷水机构包括支撑杆二,所述支撑杆二的外表面滑动连接有滑动块,所述滑动块的外表面设置有支撑板二,所述支撑板二的内壁固定连接有伸缩弹簧,所述伸缩弹簧靠近放置芯片的一端固定连接有移动板,所述移动板的外表面固定连接有软性毛刷,所述移动板的两端固定连接有与磁块一相互吸引的磁块二。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京银茂微电子制造有限公司,其通讯地址为:211200 江苏省南京市溧水区秀山路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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