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龙图腾网获悉深圳市三维机电设备有限公司申请的专利一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804493B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510300131.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备是由易波;段小平;唐轩波;唐浩然设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备，涉及晶圆检测领域，解决了现有的检测装置在对晶圆翻面时，对晶圆夹持力度过大的问题，包括：检测平台与支撑板，支撑板的外侧设置有安装盘，安装盘的外侧设置有L形支架，L形支架的一端安装有红外线检测器，检测平台的顶部安装有安装架，安装架的顶部安装有检测盒，检测盒的内侧设置有透明放置板；还包括：检测机构，用于对透明放置板上的晶圆双面检测，检测机构安装于检测盒的内侧；本发明通过检测机构，无需对晶圆翻转，即可对晶圆的顶部与底部进行检测，减少检测时对晶圆的接触，解决传统的检测装置对晶圆夹持力度过大的问题，防止晶圆损坏，从而达到了安全且多面检测的效果。

本发明授权一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产用晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括：检测平台与支撑板，支撑板的外侧设置有安装盘，安装盘的外侧设置有L形支架，L形支架的一端安装有红外线检测器，用于对晶圆进行缺陷检测，检测平台的顶部安装有安装架，安装架的顶部安装有检测盒，检测盒的内侧设置有透明放置板，用于放置晶圆； 还包括： 检测机构，用于对透明放置板上的晶圆双面检测，检测机构安装于检测盒的内侧，检测机构包括两个转动安装于检测盒内侧的转杆，检测盒的内侧设置有两个齿带，转杆的外侧安装有两个分别与两个齿带相配的第一齿轮，当两个转杆转动时，可通过第一齿轮带动两个齿带同步旋转移动，两个齿带之间安装有皮带，齿带带动皮带同步旋转移动，皮带的外侧开设有检测孔，红外线检测器的检测端与皮带的检测孔对齐，可对透明放置板上的晶圆进行检测，安装盘的一侧安装有齿环，转杆的一端安装有与齿环相配合的第二齿轮，安装盘可通过齿环带动第二齿轮转动，使第二齿轮带动转杆转动，即可使皮带上检测孔从检测盒的顶部移动到检测盒的底部，红外线检测器可从下方对晶圆进行缺陷检测，安装盘的一侧安装有转筒，转筒转动安装于支撑板的外侧，支撑板的一侧安装有驱动电机，驱动电机的输出端与转筒的外侧均安装有相配合的传动齿轮，驱动电机通过两个传动齿轮带动转筒转动，转筒带动安装盘转动，安装盘带动L形支架上的红外线检测器运动； 调距机构，用于对红外线检测器与透明放置板自动对准，调距机构安装于安装盘的外侧，调距机构包括安装于L形支架一侧的滑块，安装盘的外侧开设有供滑块限位滑动的滑腔，滑腔的内侧与滑块的外侧之间安装有弹簧，L形支架的一侧安装有滑轮，支撑板的一侧安装有支撑环，滑轮的外侧与支撑环的外侧相接触，支撑环的外侧安装有两个弧形凸块，安装盘可带动L形支架上的滑轮沿着支撑环的外侧移动，当滑轮从支撑环的外侧移动到弧形凸块的外侧时，滑轮可推动L形支架移动，使L形支架带动红外线检测器远离检测盒，并在滑轮再次与支撑环相接触时，红外线检测器可对准检测平台的正下方； 出料机构，用于将检测盒内的晶圆送入与排出，出料机构安装于检测盒的内侧，出料机构包括两个安装于检测盒一侧的L形板，L形板的一端与检测盒的内侧之间转动安装有螺杆，透明放置板的外侧安装有固定环，固定环的顶部安装有两个分别与两个螺杆相配合的移动块，靠近检测盒左侧的螺杆的一端安装有第三齿轮，安装盘的外侧安装有与第三齿轮相配合的第一弧形齿条与第二弧形齿条，当两个螺杆转动时，可通过移动块带动固定环进入检测盒内或从检测盒内移出，第一弧形齿条为内弧齿条，第二弧形齿条为外弧齿条，安装盘可带动第一弧形齿条与第二弧形齿条同步做圆周运动，两个螺杆之间转动安装有同步带。

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