上海集迦电子科技有限公司夏子奂获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利晶圆表面测温方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119688105B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510207036.5，技术领域涉及：G01K11/20；该发明授权晶圆表面测温方法及装置是由夏子奂;张萍设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆表面测温方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆表面测温方法及装置，属于半导体制造技术领域，本发明提供的晶圆表面测温方法包括在不同预设温度下焙烧荧光指示剂，标定同一温度下焙烧不同时间段后荧光指示剂的温度；加热设置有所述荧光指示剂的晶圆，其中所述荧光指示剂间隔分布于所述晶圆的预设位置上；获取晶圆上所述荧光指示剂的温度；根据所述荧光指示剂的焙烧温度、焙烧不同时间段后荧光指示剂的温度以及所述晶圆上荧光指示剂的温度获取所述荧光指示剂的加热温度和加热时间，从而获取所述晶圆表面对应位置的加热温度和加热时间。该晶圆表面测温方法可同时得到晶圆表面的温度和晶圆被加热的时间，能够获取晶圆表面吸收的真实热功。
本发明授权晶圆表面测温方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面测温方法，其特征在于，包括： 在不同预设温度下焙烧荧光指示剂，标定同一温度下焙烧不同时间段后荧光指示剂的温度； 加热设置有所述荧光指示剂的晶圆，其中所述荧光指示剂间隔分布于所述晶圆的预设位置上； 获取晶圆上所述荧光指示剂的温度； 根据所述荧光指示剂的焙烧温度、焙烧不同时间段后荧光指示剂的温度以及所述晶圆上荧光指示剂的温度获取所述荧光指示剂的加热温度和加热时间，从而获取所述晶圆表面对应位置的加热温度和加热时间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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