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龙图腾网获悉南轩(天津)科技有限公司申请的专利一种晶圆旋转加工装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119626969B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510148550.6，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆旋转加工装置是由马胜南;陈永春;陈平;任玉飞;王旭光设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆旋转加工装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆旋转加工装置，包括壳体，壳体上设有带动晶圆转动的旋转机构，壳体内设有驱动旋转机构转动的电机一，所述旋转机构包括旋转台，旋转台顶部设有多层负压环腔，负压环腔之间通过连接槽连通，旋转台底部设有可升降的负压生成机构，壳体内设有升降机构，升降机构带动负压生成机构完成升降动作，升降机构顶部设有定位机构，定位机构通过轴径向夹持晶圆，使晶圆轴心与旋转台轴线重合，本装置实现了晶圆加工前的自动定位和固定工作，能够代替多数晶圆加工设备中的旋转机构，能够单独作为分体式旋转设备使用，更加全面高效。

本发明授权一种晶圆旋转加工装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆旋转加工装置，包括壳体（1），壳体（1）上设有带动晶圆（01）转动的旋转机构（2），壳体（1）内设有驱动旋转机构（2）转动的电机一（8），其特征在于： 所述旋转机构（2）包括旋转台（21），旋转台（21）顶部设有多层负压环腔（24），负压环腔（24）之间通过连接槽（25）连通，旋转台（21）底部设有可升降的负压生成机构（3），负压生成机构（3）包括安装盘（31），安装盘（31）顶部均匀设有多个弧形板（32），负压环腔（24）内设有与弧形板（32）滑动配合的滑腔一（26）； 壳体（1）内设有升降机构（6），升降机构（6）包括气缸（61）和升降环台（62），气缸（61）输出端连接升降环台（62），升降环台（62）滑动设于旋转台（21）外侧，升降环台（62）带动负压生成机构（3）完成升降动作，升降环台（62）顶部设有定位机构（7），定位机构（7）通过轴径向夹持晶圆（01），使晶圆（01）轴心与旋转台（21）轴线重合； 所述旋转台（21）上设有保护机构（5），保护机构（5）包括活塞（51）和卡位台（52），负压环腔（24）内设有滑腔二（27），活塞（51）和卡位台（52）滑动设于滑腔二（27）内，活塞（51）底部设有螺纹柱（511），卡位台（52）顶部设有与螺纹柱（511）配合的螺纹孔，卡位台（52）底部外侧设有卡环（521），卡环（521）与滑腔二（27）内侧凹槽卡接，卡位台（52）边侧设有通气槽（522），滑腔二（27）底部设有贯穿旋转台（21）的通气孔（28）； 所述安装盘（31）内部设有限制安装盘（31）下降位置的限位机构（4）。

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