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杭州长川科技股份有限公司张新获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州长川科技股份有限公司申请的专利探针卡的调平方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119644232B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510159262.0,技术领域涉及:G01R35/02;该发明授权探针卡的调平方法、装置、设备及存储介质是由张新;高文杰;庄园;戴啟辉;陈启其设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

探针卡的调平方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种探针卡的调平方法、装置、设备及存储介质,通过基于探针卡针尖位置获取针卡拟合平面,其中,探针卡安装在探针承载装置上,所述探针承载装置包括用于调平探针卡的针卡平面的至少一个运动单元;基于所述针卡拟合平面与基准平面之间的平行度,确定所述至少一个运动单元对应的运动量;响应于所述至少一个运动单元对应运动量满足运动共面条件,分别控制所述至少一个运动单元基于对应的运动量运动,以对所述探针卡的针卡平面进行调平,可实现对探针卡针卡平面的自动调平,有助于提高探针卡调平的准确性以及调节效率。

本发明授权探针卡的调平方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种探针卡的调平方法,其特征在于,所述方法包括: 基于探针卡针尖位置获取针卡拟合平面,其中,探针卡安装在探针承载装置上,所述探针承载装置包括用于调平探针卡的针卡平面的至少一个运动单元; 基于所述针卡拟合平面与基准平面之间的平行度,确定所述至少一个运动单元对应的初始运动量,所述运动单元的初始运动量基于所述针卡拟合平面的平面法向量确定得到; 分别确定所述至少一个运动单元基于对应的初始运动量运动后的初始运动位置; 响应于所述初始运动位置均处于预设限制范围内,将所述至少一个运动单元对应的初始运动量确定为所述至少一个运动单元的运动量,所述预设限制范围是所述运动单元允许运动的位置限制范围;响应于至少一个所述初始运动位置处于预设限制范围外,削弱所述至少一个运动单元对应的初始运动量,以及将所述至少一个运动单元对应的削弱后运动量确定为所述运动单元的运动量,所述削弱后运动量为对所述至少一个运动单元对应的初始运动量进行第i次削弱后的第i削弱运动量,所述至少一个运动单元基于对应的第i削弱运动量运动后的第i削弱运动位置均位于所述预设限制范围内,i为不小于1的正整数,其中,目标运动单元对应的第i削弱运动量为所述目标运动单元所在目标直线与第i针卡拟合平面的第i交点位置到所述基准平面的第i投影距离,所述第i针卡拟合平面为对所述平面法向量进行第i次削弱后得到的第i削弱平面法向量对应的平面,所述目标直线与所述基准平面垂直,所述目标运动单元为所述至少一个运动单元中的任一运动单元; 响应于所述至少一个运动单元对应运动量满足运动共面条件,分别控制所述至少一个运动单元基于对应的运动量运动,以对所述探针卡的针卡平面进行调平。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州长川科技股份有限公司,其通讯地址为:310056 浙江省杭州市滨江区聚才路410号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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