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嘉际环控(西安)科技有限公司金炫宇获国家专利权

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龙图腾网获悉嘉际环控(西安)科技有限公司申请的专利一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119890128B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510013104.4,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置是由金炫宇;刘超;张宝宝设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置,涉及翻转技术领域。本发明包括装置主体,装置主体左侧设置有取料台,装置主体内壁顶部设置有加工组件,装置主体内壁底部设置有电动滑轨,电动滑轨内部设置有气缸组件,气缸组件上方设置有防偏位装置,防偏位装置外围设置有防污染装置,防污染装置内侧设置有防附着装置,防偏位装置包括伸缩气杆,伸缩气杆固定端底部固定安装在气缸组件顶部。本发明能够保证真空吸附组件对工件的承接始终处于中心方位,促使真空吸附组件对半导体始终居中吸附,避免工件与真空吸附组件之间的吸力产生偏移降低吸附强度,防止翻转过程中半导体掉落损坏的可能性增加。

本发明授权一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体专用设备的机械手翻转装置,包括装置主体(1),其特征在于:所述装置主体(1)左侧设置有取料台(2),所述装置主体(1)内壁顶部设置有加工组件(3),所述装置主体(1)内壁底部设置有电动滑轨(31),所述电动滑轨(31)内部设置有气缸组件(32); 所述气缸组件(32)上方设置有防偏位装置(4),所述防偏位装置(4)外围设置有防污染装置(5),所述防污染装置(5)内侧设置有防附着装置(6); 所述防偏位装置(4)包括伸缩气杆(41),所述伸缩气杆(41)固定端底部固定安装在气缸组件(32)顶部,所述伸缩气杆(41)与气缸组件(32)连通,所述伸缩气杆(41)伸缩端顶部固定安装有U形板(42),所述U形板(42)底部开设有两个方形槽,且两个所述方形槽以U形板(42)轴心对称分布,所述U形板(42)内壁转动安装有电动转杆(43),所述电动转杆(43)外壁贯穿且固定安装有真空吸附组件(44),真空吸附组件(44)向上运动且对加工组件(3)内部工件进行承接吸附,所述U形板(42)内壁固定安装有平板(45),所述平板(45)位于电动转杆(43)上方,所述平板(45)内部贯穿且转动安装有丝杆(46),所述加工组件(3)外壁固定安装有限位板(47),所述丝杆(46)底部固定安装有凸轮(48),所述真空吸附组件(44)顶部通过限位槽滑动安装有L形推板(49),所述L形推板(49)内壁底部固定安装有圆柱(410); 所述丝杆(46)外壁螺旋槽与限位板(47)内壁为螺纹连接,所述L形推板(49)与真空吸附组件(44)之间设置有弹簧,所述圆柱(410)外壁与凸轮(48)外壁弧面接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人嘉际环控(西安)科技有限公司,其通讯地址为:710076 陕西省西安市高新区新型工业园发展大道32号B座112室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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