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龙图腾网恭喜蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利一种气相生长室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119932538B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510421728.X，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种气相生长室是由刘永明;张伟设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气相生长室在说明书摘要公布了：本申请提供一种气相生长室，包括生长腔室、底座、轴体、托盘和气体注入机构，将轴体密封贯穿生长腔室并固设于底座中部，轴体顶部突出于底座顶面，底座顶面设置的顶面开口的托盘容纳腔靠近轴体顶部的一侧壁开口；托盘容纳于托盘容纳腔，托盘的第一端部靠近轴体顶部的一侧壁开口与轴体顶部活动适配；与托盘容纳腔相通的托盘驱动气道设于底座并延伸至第二端部下方，托盘底面遮蔽托盘驱动气道在托盘容纳腔上的开口，当气体注入机构向衬底提供工艺气体的来流方向由第一端部指向第二端部时，托盘驱动气道能够提供驱动气体使第二端部相对第一端部抬升，从而调整工艺气体在衬底上沉积时的耗尽趋势，提高衬底膜层厚度的均匀性。

本发明授权一种气相生长室在权利要求书中公布了：1.一种气相生长室，其特征在于，包括： 生长腔室； 底座，设于所述生长腔室内，顶部设有顶面开口的托盘容纳腔； 轴体，密封贯穿所述生长腔室并固定设于所述底座中部，所述轴体顶部突出于所述底座顶面，所述托盘容纳腔靠近所述轴体顶部的一侧壁开口，并与所述托盘容纳腔的顶面开口相连通； 托盘，用于承载衬底，容纳于所述托盘容纳腔，所述托盘包括沿所述托盘容纳腔径向相对的第一端部和第二端部，所述第一端部经所述托盘容纳腔靠近所述轴体顶部的一侧壁开口与所述轴体顶部活动适配； 气体注入机构，设于所述生长腔室，用于注入工艺气体，并使所述工艺气体流经所述衬底，所述工艺气体流经所述衬底的来流方向由所述第一端部指向所述第二端部； 托盘驱动气道，设于所述底座，延伸至所述第二端部下方，并与所述托盘容纳腔相通，所述托盘底面遮蔽所述托盘驱动气道在所述托盘容纳腔上的开口，所述托盘驱动气道用于提供驱动气体以使所述第二端部相对所述第一端部抬升； 所述轴体顶部包括凸起适配部，所述第一端部包括朝向所述凸起适配部的端部侧壁； 所述端部侧壁与所述凸起适配部的至少部分侧壁滑动贴合；或者， 所述端部侧壁与所述凸起适配部之间具有间距，当所述第二端部相对所述第一端部抬升的过程中，所述托盘朝向所述凸起适配部运动，并使所述端部侧壁与所述凸起适配部的至少部分侧壁滑动贴合。

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