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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115648036B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211206520.9，技术领域涉及：B24B29/02；该发明授权一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法是由张乐;尹小林;张鑫;张斌智;陈太喜设计研发完成，并于2022-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法，该用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置包括：夹具，两个机器人和两个磨盘，所述夹具用于固定所述双面曲面单晶碳化硅；两个所述机器人均具有移动部；两个所述磨盘分别与两个所述移动部一一连接，所述移动部带动所述磨盘移动，用于对所述双面曲面单晶碳化硅的曲面进行打磨。本发明技术方案中，两个移动部带动两个所述磨盘分别移动，用于对所述双面曲面单晶碳化硅的曲面同时进行打磨，不仅能够满足对双面曲面单晶碳化硅的打磨条件，还能够双面抛光，提高对双面曲面单晶碳化硅的打磨效率。

本发明授权一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置及抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置，其特征在于，包括： 夹具，所述夹具用于固定所述双面曲面单晶碳化硅； 两个机器人，两个所述机器人均具有移动部； 两个磨盘，两个所述磨盘分别与两个所述移动部一一连接，所述移动部带动所述磨盘移动，用于对所述双面曲面单晶碳化硅的两个曲面进行打磨； 所述机器人包括能够转动的转动部、第一机械臂，第二机械臂、第三机械臂和底座；所述移动部与所述转动部连接，所述移动部具有六个自由度，能够使所述移动部带动所述磨盘对所述双面曲面单晶碳化硅的曲面进行打磨； 所述第一机械臂能够绕所述底座的轴线相对于所述底座转动，所述第二机械臂能够绕第一机械部的端部转动，所述第三机械臂能够绕所述第二机械臂的端部转动；所述转动部能够绕所述第三机械臂的轴线转动，所述移动部能够绕所述转动部的端部转动，且所述移动部能够绕所述转动部的轴线转动； 所述用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置还包括与两个所述移动部一一连接的两个带动组件，所述带动组件包括驱动装置和弹性件，所述驱动装置通过所述弹性件与所述磨盘连接，所述磨盘的压力过大时带动所述弹性件收缩向靠近所述驱动装置的方向移动； 所述弹性件为弹簧连接杆，所述弹簧连接杆包括弹簧上壳、弹簧和下壳，所述上壳与所述驱动装置连接，所述下壳与所述磨盘连接，所述上壳和所述下壳在所述弹簧受到力时相对移动； 所述用于抛光双面曲面单晶碳化硅的抛光装置还包括两个传感器和控制器，每个所述传感器设置于所述下壳与所述弹簧之间，所述控制器根据所述传感器的第一信号控制所述磨盘远离所述双面曲面单晶碳化硅； 所述控制器根据所述传感器的第二信号控制所述驱动装置关闭，所述第二信号对应的压力值大于所述第一信号对应的压力值。

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