上海引万光电科技有限公司丁欣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海引万光电科技有限公司申请的专利一种层流元件及其应用于的多路比例配气设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116712877B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310513569.7，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种层流元件及其应用于的多路比例配气设备是由丁欣设计研发完成，并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种层流元件及其应用于的多路比例配气设备在说明书摘要公布了：本发明半导体设备技术领域，提出一种层流元件及其应用于的多路比例配气设备，所述层流元件包括：第一部件；以及第二部件，其被配置为与所述第一部件相对运动以改变所述层流元件的开口面积，其中流体自所述层流元件流过；其中第一和第二部件的至少其中之一具有第一雷诺数特征尺寸，所述第一和第二部件的至少其中之一上设有层流片，所述层流片具有第二雷诺数特征尺寸，所述第二雷诺数特征尺寸小于第一雷诺数特征尺寸。所述层流元件可以将反应气体的气流的流态从湍流整流为层流，在应用在多路比例配气设备中时可以实现真正的比例流量控制，使调节工艺的再现性、重复性大大提高。并且不需要控制喷口上游的背压，去掉了多个MFC的背压约束，管道的压降ΔPi自然形成，避免了过约束的产生。
本发明授权一种层流元件及其应用于的多路比例配气设备在权利要求书中公布了：1.一种层流元件，其特征在于，包括： 第一部件；以及 第二部件，其被配置为与所述第一部件相对运动以改变所述层流元件的开口面积，其中流体自所述层流元件流过； 其中第一和第二部件的至少其中之一具有第一雷诺数特征尺寸，所述第一和第二部件的至少其中之一上设有多个层流片，所述多个层流片之间的间距构成第二雷诺数特征尺寸，所述第二雷诺数特征尺寸小于第一雷诺数特征尺寸， 其中当所述第二部件在所述第一部件的轴向方向上移动至所述多个层流片与所述第一部件完全嵌合时，所述层流元件的开口面积为零。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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