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龙图腾网获悉深圳市三维机电设备有限公司申请的专利一种半导体晶圆检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120064135B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510550341.4，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种半导体晶圆检测装置是由易波;唐轩波;唐浩然;段小平设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆检测装置，涉及半导体晶圆检测技术领域包括高度可调节的晶圆瑕疵检测灯组，晶圆瑕疵检测灯组的支撑板上固定有机柜，机柜内转动设置有线性驱动模组，线性驱动模组包括可滑动的滑块；滑块上转动连接有调角器，调角器上固定有正向调节组件，调角器上固定有用于夹持晶圆片的晶圆片夹持盘，线性驱动模组上滑动连接有往复摆动驱动组件；线性驱动模组经转动切换滑块滑动方向，跟随转动的晶圆片夹持盘经正向调节组件切换保持正向状态；通过晶圆片夹持盘夹持晶圆片，无需检测人员长时间手持晶圆片，晶圆片视角更加的稳定，在晶圆片前后、左右移动的过程中通过晶圆片表面的光线反射情况，观察晶圆片表面的划痕。

本发明授权一种半导体晶圆检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆检测装置，其特征在于，包括高度可调节的晶圆瑕疵检测灯组，所述晶圆瑕疵检测灯组的支撑板上固定有机柜，机柜内转动设置有线性驱动模组，线性驱动模组包括可滑动的滑块； 滑块上转动连接有调角器，调角器上固定有正向调节组件，调角器上固定有用于夹持晶圆片的晶圆片夹持盘，线性驱动模组上滑动连接有往复摆动驱动组件； 所述往复摆动驱动组件包括引导杆，所述引导杆上表面开设有多个凹槽，所述引导杆底部开设有多个滑槽，滑槽内滑设有第二导轨，第二导轨固定在线性驱动模组上； 所述正向调节组件包括齿轮，所述线性驱动模组还包括与滑块适配的第一导轨，所述第一导轨上转动设置有滚珠丝杠，齿轮通过驱动轴转动连接在滑块的第二轴孔上，调角器固定在驱动轴上端； 机柜包括固定在支撑板上表面的外壳，第一导轨固定在支撑圆板上，支撑圆板转动连接在外壳的第一轴孔上，所述外壳上固定有与第一轴孔同轴设置的不完全内齿环，经转动后所述齿轮与滑块磁吸固定，所述齿轮靠近滑块的一侧对称固定有第二磁铁和第三磁铁，第二磁铁和第三磁铁间隔设置，所述滑块上对称固定有第一磁铁； 线性驱动模组经转动切换滑块滑动方向，跟随转动的晶圆片夹持盘经正向调节组件切换保持正向状态； 往复摆动驱动组件滑动到调角器的调角杆下端，滑动中所述调角杆经往复摆动驱动组件带动晶圆片夹持盘往复摆动； 往复摆动驱动组件滑动远离调角杆，晶圆片夹持盘定角滑动。

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