曹晓光;韦占雄获国家专利权
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龙图腾网获悉曹晓光;韦占雄申请的专利一种光纤光栅晶圆温度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114235200B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010932000.0，技术领域涉及：G01K11/3206；该发明授权一种光纤光栅晶圆温度传感器是由韦占雄;曹晓光设计研发完成，并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光纤光栅晶圆温度传感器在说明书摘要公布了：一种光纤光栅晶圆温度传感器，其包括：一块基板晶圆；至少一根第一光纤，其一部分设有若干个感温光纤光栅，所述感温光纤光栅通过结合材料设置于基板晶圆上表面；所述第一光纤的另一部分形成与光波长检测仪连接的传输光纤，并外伸于所述基板晶圆外。本发明所述光纤光栅晶圆温度传感器提高晶圆温度传感器的使用寿命和测量准确度，并且使处于半导体工艺炉内的感温晶圆和导线部分可以不含有金属成分，具有使用寿命长、连接线少、测温准确等特点。
本发明授权一种光纤光栅晶圆温度传感器在权利要求书中公布了：1.一种光纤光栅晶圆温度传感器，其特征在于，包括： 一块基板晶圆； 至少一根第一光纤，其一部分设有若干个感温光纤光栅，所述感温光纤光栅通过结合材料设置于基板晶圆上表面；所述第一光纤的另一部分形成与光波长检测仪连接的传输光纤，并外伸于所述基板晶圆外； 串接在第一光纤上的所述感温光纤光栅在所述基板晶圆的上表面呈同心圆布置；或， 串接有感温光纤光栅的第一光纤在所述基板晶圆表面水平方向上弯折形成若干段等间距平行布置结构，每段光纤上的感温光纤光栅等间距布设；或， 串接有感温光纤光栅的第一光纤在基板晶圆表面从边缘一点或相邻的几个点向基板晶圆边缘其它点以等夹角、放射状布置，每根第一光纤上的感温光纤光栅沿轴向等间距布设；或者，串接有感温光纤光栅的第一光纤在基板晶圆表面以等夹角、过圆心方式设置一条或多条，每根第一光纤上的感温光纤光栅等间距布设。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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