细美事有限公司康世玟获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678294B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111541392.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备是由康世玟;安求悅设计研发完成，并于2021-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明的实施例提供基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备，能够减少在侧面支承基板的卡盘销的磨耗带来的更换周期。根据本发明的实施例的基板夹持装置用于在基板处理设备中夹持基板，所述基板夹持装置包括：卡盘；齿轮箱，构成为能够相对于所述卡盘移动；旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部；以及卡盘销，与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触。根据本发明的实施例，构成为通过卡盘销的各点位在侧面支承基板，从而能够提高卡盘销的寿命且节减费用。
本发明授权基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板夹持装置，用于在基板处理设备中夹持基板，其中，所述基板夹持装置包括： 卡盘，构成为能够旋转； 齿轮箱，设置于所述卡盘的上面，并构成为能够相对于所述卡盘移动； 旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部； 卡盘销，能够以所述卡盘的中心部为基准向水平方向直线移动，并且与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触；以及 角度调节齿轮，与所述旋转齿轮啮合结合，并构成为调节所述旋转齿轮的旋转， 所述角度调节齿轮与在下方支承所述基板的支承销结合，并通过所述支承销的旋转来调节所述卡盘销的旋转。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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