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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种用于极紫外光刻的掩模结构及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2016-12-21发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：201510962313X，技术领域属于G03F1/24(2012.01)I；该专利一种用于极紫外光刻的掩模结构及其制备方法是由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所设计研发完成，并于2015-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及集成电路技术领域，具体公开一种用于极紫外光刻的掩模结构及其制备方法。本发明的制备方法依次包括掩模基底的处理、多层膜的制作、过渡层的制作、吸收层的制作以及保护层的制作。通过该方法制得的掩模结构，一方面，实现了克服或者抑制掩模阴影效应的功能；另一方面，在掩模结构制作过程中，不用对起着反射率增强作用的多层膜结构进行刻蚀，极大地减少了掩模制备过程中对反射区多层膜结构的损伤，从而提高了其结构可靠性，提升了掩模的性能。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网（www.lotut.com） 是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等， 通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明：当前页面专利信息仅供研究，该信息不具备任何法律效应，实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |
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