买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉天津大学申请的专利一种低损耗铌酸锂薄膜光波导的制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-02-07发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:201910967766X,技术领域属于G02B6/12(20060101);该专利一种低损耗铌酸锂薄膜光波导的制备方法是由天津大学设计研发完成,并于2019-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种低损耗铌酸锂薄膜光波导的制备方法,首先采用LNOI作为初始材料;然后在LN薄膜层的表面镀一层100nm厚的SiO2膜,并对其进行光刻,制作出条状结构的2~3μm宽的SiO2掩模;接着把光刻后的样品在520~550℃下LRVTE处理10~20个小时,得到LRVTE区域,将所述LRVTE区域的单晶LN薄膜制作成光波导;最后去除SiO2掩模,并对样品的端面进行抛光处理。本发明采用LRVTE技术制作的LN薄膜光波导的芯层晶格结构未受损伤,各项光学指标完好地保留了铌酸锂体材料的固有的典型数值,可以实现较低的传输损耗低。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |