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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种光刻友好型冗余金属填充方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2015-09-30发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2015103042161，技术领域属于G06F17/50(2006.01)I；该专利一种光刻友好型冗余金属填充方法是由大连理工大学设计研发完成，并于2015-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供了一种光刻友好型冗余金属填充方法，属于集成电路可制造性设计及电子设计自动化领域。本发明利用冗余金属作为可印性辅助图形，提供了针对T字型、L字型过孔和普通线端光刻畸变问题的预填充模型，并给出了相应的冗余金属预填充方案。在此基础上，本发明还提供了一种光刻友好型冗余金属填充流程，对原始版图分别进行预填充、常规填充和去掉预填充步骤，通过对比去掉预填充前后的光刻畸变情况，修正预填充方案。采用本发明所述的冗余金属填充方法，可以实现局部光刻畸变校正，改善局部金属密度，平衡冗余金属对光刻和平坦度的影响。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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