买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜长春理工大学申请的专利DLC沉膜的膜厚均匀性控制方法及调整底盘成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2013-06-12发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2011104009247,技术领域属于C23C16/52(2006.01)I;该专利DLC沉膜的膜厚均匀性控制方法及调整底盘是由长春理工大学设计研发完成,并于2011-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供一种DLC沉膜的膜厚均匀性控制方法及调整底盘,该方法包括以下步骤:将待沉膜的工件至于金属材质制作的调整底盘上并与该调整底盘相配合,且所述调整底盘暴漏的周侧面与所述工件的待沉膜表面之间形成连续的过渡;将所述工件及调整底盘放置于真空电场环境中;在所述工件的待沉膜表面及调整底盘暴漏的周侧面沉积DLC膜层;将沉积有DLC膜的工件从所述调整底盘上取下即完成了对所述工件的DLC沉膜。本发明通过在待沉膜工件的底部托起该调整底盘改变待沉膜工件下部边缘的电场,使得原来分布在其下边缘的不均匀电场变得均匀,从而改变沉积在整个工件外表面的DLC膜的均匀性,解决了现有技术中成品件下边缘脱膜的技术问题。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |