买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜西安电子科技大学申请的专利基于AlGaN/GaN异质结多沟道结构的太赫兹肖特基二极管及制作方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2016-06-15发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2016100153932,技术领域属于H01L29/872(2006.01)I;该专利基于AlGaN/GaN异质结多沟道结构的太赫兹肖特基二极管及制作方法是由西安电子科技大学设计研发完成,并于2016-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种基于AlGaN/GaN异质结多沟道结构的GaN太赫兹肖特基二极管及其制作方法,主要解决现有GaN肖特基二极管掺杂迁移率低,串联电阻大,截止频率低的问题。包括主体部分和辅体部分,主体部分自下而上包括:(1)半绝缘SiC衬底、(2)GaN缓冲层、(3)AlGaN/GaN异质结多沟道层、(4)GaN帽层,辅体部分包括:(5)欧姆接触电极(阴极)、(6)肖特基势垒接触电极(阳极)、(7)空气桥、(8)背金层。其中:AlGaN/GaN异质结多沟道层采用AlGaN/GaN类超晶格结构,该类超晶格有2到6个周期,每个周期中GaN层和AlGaN层的厚度均为10-20nm,且AlGaN层中的Al组分为30%。本发明能够避免传统的n型掺杂工艺,利用极化形成的多层二维电子气沟道来提高电子迁移率,减小串联电阻,提高截止频率,适用于太赫兹频段工作。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |