买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜天津大学申请的专利表面等离子激元光电探测器及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2017-05-31发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2016110813483,技术领域属于H01L31/108(2006.01)I;该专利表面等离子激元光电探测器及其制备方法是由天津大学设计研发完成,并于2016-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明属于光纤通信、可见光通信及光互连领域,为能够在不降低光电探测器响应速度的同时增加响应度,且可实现光电器件和电子电路的单片集成。本发明采用的技术方案是,表面等离子激元光电探测器及其制备方法,步骤如下:1)制备浅槽隔离STI;2)在浅槽隔离之间的有源区内制备一个中等掺杂浓度的N阱;3)在N阱区外进行P型重掺杂,移除衬底产生的光生载流子;4)制作成叉指型的周期性光栅,用作光电探测器的阴极和阳极;5)采用旋涂工艺在芯片上表面涂覆有机硅化物;6)制备其他高层互连金属,用于将光电探测器的光电流引出至接触焊盘;7)在芯片上表面顺序淀积氧化硅/氮化硅钝化层。本发明主要应用于光纤通信装置设计制造。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |