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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利一种单晶薄膜体声波滤波器及其微细加工方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-09-10发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2019103931525，技术领域属于H03H9/56(20060101)；该专利一种单晶薄膜体声波滤波器及其微细加工方法是由电子科技大学设计研发完成，并于2019-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供一种单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，包括如下步骤：采用晶圆键合转移方法制备单晶压电薄膜材料，所述单晶压电薄膜材料包括自上而下依次设置的表面损伤层、表面粗糙层、频率调控层、压电层，去除所述表面损伤层，去除所述表面粗糙层，调节所述频率调控层的厚度，即可。本发明所述的单晶薄膜体声波滤波器的微细加工方法，实现了对单晶压电薄膜结构的厚度以及表面形貌的精准控制，从而使得在提高单晶压电薄膜的结构与压电性能的同时，也实现对单晶薄膜体声波滤波器频率的精确控制，最终实现对薄膜体声波滤波器的中心频率的精准调频。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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