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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜合肥工业大学申请的专利硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2016-07-06发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2016101150221，技术领域属于B81C1/00(2006.01)I；该专利硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔是由合肥工业大学设计研发完成，并于2016-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种硅与玻璃的阳极键合技术制作尺寸可控的标准漏孔的方法，首先在预处理过的硅片上涂覆一层光刻胶，经全息曝光及ICP浅刻蚀技术在硅片上获得光栅图案。然后在硅片上涂覆一层光刻胶，经湿法腐蚀技术在硅片上获得深槽结构。另取一片预处理过的Pyrex玻璃，将处理后的硅片与玻璃进行氧等离子体轰击处理，然后将硅片与玻璃在一定压力和温度下贴合在一起，经阳极键合技术制得标准漏孔。本发明将全息曝光技术、湿法腐蚀技术与阳极键合技术融合在一起，所制得的标准漏孔的尺寸可控，漏率范围较宽，并且由于通道尺寸为纳米级，保证了即使在较高压强的情况下，通道内的气体仍处于分子流状态。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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