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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜武汉理工大学申请的专利一种立方碳化硅薄膜的制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2014-10-08发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2014103175597，技术领域属于C23C16/32(2006.01)I；该专利一种立方碳化硅薄膜的制备方法是由武汉理工大学设计研发完成，并于2014-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种立方碳化硅薄膜的制备方法，包括如下步骤：(1)将单晶硅基板放入冷壁式激光化学气相沉积装置的基板座上，抽真空，并设置基板座温度升至100～900℃；(2)将含HMDS的载流气通入反应器内，HMDS的流量为1～20sccm，调节真空度至10～10kPa；(3)加载连续激光照射硅基板表面，波长750～1150纳米，功率为10～150W，时间为1～10分钟；(4)停止通入含有HMDS的载流气，关闭激光和停止加热，抽真空并自然冷却至室温，即得到立方碳化硅薄膜。本发明制备的立方碳化硅薄膜的面缺陷倾斜于薄膜生长方向生长，相邻缺陷相遇时能够发生“自消亡”现象，从而有效降低了材料中的晶体缺陷。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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