买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜合肥工业大学申请的专利一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-10-12发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021108524005,技术领域属于H01P3/12(20060101);该专利一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导是由合肥工业大学设计研发完成,并于2021-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及一种基于薄膜自卷曲技术的圆波导,属于纳米器件技术领域。以硅片作为衬底,在衬底上沉积钛金属层、铜金属层和金金属层,通过刻蚀锗牺牲层,利用不同金属层间的内在应力作用,触发钛、铜、金金属层自卷曲,从而实现二维到三维的过渡,形成自卷曲的微纳米管。微纳米管的内径为微米级,圆波导工作频率为太赫兹波段。本发明所制成的片上圆波导结构小型化,纳米薄膜的微纳米管结构提供了优越的结构性能,具有较高的导电性能和电荷的传输效率;本发明的制作方法易于操作,成本更低,可批量生产。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |