买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利基于平面工艺的左手非线性传输线倍频器及其制作方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2011-06-08发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2009103109753,技术领域属于H01L21/84(2006.01)I;该专利基于平面工艺的左手非线性传输线倍频器及其制作方法是由中国科学院微电子研究所设计研发完成,并于2009-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及一种基于平面工艺的左手非线性传输线倍频器及其制作方法,属于微波电路技术领域。所述制作方法包括以下步骤:在半绝缘衬底上制得肖特基变容二极管,包括重掺杂N型层、N型层、下电极和上电极,N型层在重掺杂N型层上形成台面结构,重掺杂N型层在半绝缘衬底上形成台面结构;在半绝缘衬底上形成电容的下电极和电感的埋层引线;淀积形成介质层;通过刻蚀上电极、下电极、电容的下电极和电感的埋层引线处的介质层,形成窗口;形成电容的下电极、螺旋电感以及连接线。本发明基于平面工艺的左手非线性传输线倍频器的制作方法,采用平面工艺,易于实施,操作简单;易于单片集成,且集成度高;电路稳定性好,可靠性高。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |