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当前位置: 首页 > 专利交易 > 中国科学院上海硅酸盐研究所金平实老师一件发明专利完成成果转化

中国科学院上海硅酸盐研究所金平实老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2022年12月13日 来源:龙图腾

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龙图腾网获悉中国科学院上海硅酸盐研究所申请的专利一种制备钙钛矿太阳能电池空穴传输层用钴氧化物薄膜的方法成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2017-01-11发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2016108773897,技术领域属于H01L51/50(2006.01)I;该专利一种制备钙钛矿太阳能电池空穴传输层用钴氧化物薄膜的方法是由中国科学院上海硅酸盐研究所设计研发完成,并于2016-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明涉及一种制备钙钛矿太阳能电池空穴传输层用钴氧化物薄膜的方法,包括:以金属钴作为第一靶材、以氩气和氧气作为溅射气体,采用直流磁控共溅射法在基底表面沉积钴氧化物薄膜;其中,施加于所述第一靶材上的直流电源的功率为 100~700 W 或者功率密度为1.3~8.9 W/cm2;控制溅射气体的总压强为0.5~2.5 Pa,氧分压为50%以下;沉积时间为1~5分钟。本发明采用直流磁控共溅射法制备钴氧化物薄膜,并通过控制第一靶材的溅射功率或/和气氛压力,提高溅射腔体中沉积粒子的能量,从而可以获得具有不同二价钴离子与三价钴离子的比例的钴氧化物薄膜。

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