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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉山东省科学院能源研究所申请的专利一种喷雾热解制备半导体薄膜的装置成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-01-07发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021220191810，技术领域属于B05B7/06(20060101)；该专利一种喷雾热解制备半导体薄膜的装置是由山东省科学院能源研究所设计研发完成，并于2021-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。 本实用新型涉及半导体材料制造装置技术，具体涉及一种喷雾热解制备半导体薄膜的装置，包括：喷头，用于将压缩气体和盐溶液进行雾化；蠕动泵，用于将盐溶液输送至喷头；加热台，用于对放置在加热台上的基片进行加热，放置在在加热台上的基片用于接收喷头雾化的雾化颗粒；所述喷头设置液体通道和气体通道，液体通道位于气体通道内，液体通道内设置引导针，引导针的针尖位于液体出口处，气体出口位于液体出口内，气体出口直径小于内管直径。本实用新型能够使得喷头喷嘴处的液体被撕裂成微小且均匀的雾滴，避免产生水滴、散热较快，使形成的半导体薄膜更均匀，从而实现长时间、大规模生产半导体薄膜。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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