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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种掩膜刻蚀制备亚波长周期性阵列的方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-05-07发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021100112810，技术领域属于B81C1/00(20060101)；该专利一种掩膜刻蚀制备亚波长周期性阵列的方法是由南京大学设计研发完成，并于2021-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明属于微纳米材料光学领域，具体涉及一种玻璃表面修饰掩膜进行刻蚀亚波长周期性阵列的方法。一种掩膜刻蚀制备亚波长周期性阵列的方法，包括以下步骤：将硅酸盐玻璃原片分别用丙酮、乙醇、去离子水、乙醇清洗、烘干；用匀胶机选取乙醇乙二醇分散好的二氧化硅分散液，其中二氧化硅小球直径在200‑500nm；待分散液中溶剂挥发完成；在等离子体刻蚀仓中进行刻蚀，刻蚀气体CHF3、CF4任意一种或二者的组合，流量为45‑80sccm，刻蚀功率为75‑90W；清洗、烘干。本发明的优点在于：工艺简单；可以在不同种类的玻璃表面制备均匀亚波长微结构；减低反射效果好，单面空气‑玻璃反射从5.5％有效降低到3.2％以下，利于实现光学元件的集成。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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