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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种调节旋涂成膜腔室气氛的同步罩结构成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-10-01发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021107196520，技术领域属于B05C15/00(20060101)；该专利一种调节旋涂成膜腔室气氛的同步罩结构是由大连理工大学设计研发完成，并于2021-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种调节旋涂腔室气氛的同步罩结构，包括罩盖和罩底，所述罩盖包括进气接口、盖板、内支撑筒和外支撑筒，所述罩底包括仿形罩、底板和支撑筒。本发明中溶剂蒸汽经进气接口、盖板与仿形罩之间的横隔腔室、内支撑筒与与仿形罩之间的气体通道、底板上的通气孔带进入旋涂腔室，可以减小挥发非均匀性。此外，在旋涂结束后，可以通过进气接口和通气孔带将旋涂腔室中溶剂蒸汽抽出，降低了旋涂腔室尤其是基片边缘附近的溶剂蒸汽浓度，加速边缘区域的挥发以防止边缘回缩产生边缘效应。本发明限制了通气孔带的位置，通气孔带正对基片外缘，不直接作用在基片上，避免了溶剂蒸汽注入或抽出过程中气流对膜厚的影响。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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