买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种提高PS-PVD沉积过程中气相比例的装置及方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-02-18发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2022100119532,技术领域属于C23C14/22(20060101);该专利一种提高PS-PVD沉积过程中气相比例的装置及方法是由北京航空航天大学设计研发完成,并于2022-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种提高PS‑PVD沉积过程中气相比例的装置和方法,装置为同心环式遮挡装置,包括第一同心环和第二同心环,第一同心环包括第一外环和第一内环,第二同心环包括第二外环和第二内环;第一外环、第一内环、第二外环和第二内环,在垂直PS‑PVD射流方向表面上的投影相互连接,相互没有空隙,第一外环、第一内环和第二外环、第二内环在沿着方向PS‑PVD射流方向上错位交互排列,即第一外环与第二外环、第二外环与第一内环、第一内环与第二内环之间均留有间隙;第二内环的内部为中空,没有遮挡;各同心环从射流中心到边缘方向的排列逐渐稀疏,本发明能有效过滤掉射流边缘中的液相或未熔颗粒,保证沉积过程中为气相沉积,沉积工件表面涂层结构一致,厚度均匀。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |