龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码注册/登录
- 账号密码登录
|
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜西安电子科技大学申请的专利SiC衬底同质网状生长Web Growth外延方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2014-01-01发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2013104049154，技术领域属于H01L21/20(2006.01)I；该专利SiC衬底同质网状生长Web Growth外延方法是由西安电子科技大学设计研发完成，并于2013-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及一种SiC衬底同质Web Growth外延方法，方法包括：选取正轴4H或6H的原始SiC衬底；将原始SiC衬底进行显影处理和干刻蚀工艺处理，处理为加工SiC衬底；利用外延炉对加工SiC衬底进行原位刻蚀；对加工SiC衬底进行同质外延处理；加工SiC衬底在刻蚀图形内角处进行悬臂生长生成SiC外延片，生长出的悬臂为无缺陷的碳硅双原子层结构；生长出的悬臂愈合形成一层碳硅双原子层薄膜覆盖刻蚀台面区域；从外延炉中取出生长好的SiC外延片。本发明SiC衬底同质Web Growth外延方法实现了在正轴碳化硅衬底最顶端的刻蚀台面上外延薄的一层完全无缺陷的悬臂，并且有效缩短外延时间并提高薄膜生长面积。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号