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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜福州大学申请的专利一种具有均匀取向的高纯铝靶材的制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-12-07发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2021110921648，技术领域属于C23C14/34(20060101)；该专利一种具有均匀取向的高纯铝靶材的制备方法是由福州大学设计研发完成，并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种具有均匀取向的高纯铝靶材的制备方法。本发明的制备方法包括预先热处理、多向热锻、中间退火、热轧、再结晶退火。将多向锻造和热轧的变形特点相结合，获得变形均匀且具有足够大储存能的铝板，最后再通过对再结晶退火加热速率及温度的控制，得到晶粒尺寸小于100μm的高纯铝靶材，同时使得高纯铝靶材（200）面取向含量在40%以上，取向在不同厚度上分布一致。较小的晶粒尺寸和均匀的取向分布保证了靶材具有高溅射效率的同时，溅射速率也较为稳定，有利于提高溅射薄膜的质量。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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