买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜华南理工大学申请的专利一种提高半导体氧化物薄膜偏压热稳定性的方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2018-08-28发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2018102723041,技术领域属于H01L21/02(2006.01)I;该专利一种提高半导体氧化物薄膜偏压热稳定性的方法是由华南理工大学设计研发完成,并于2018-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供了一种提高半导体氧化物薄膜偏压热稳定性的方法。所述方法包括如下步骤:(1)将半导体氧化物的盐、稀土盐、任选地乙醇胺、任选地醋酸和任选地燃料溶于乙二醇单甲醚中,静置老化,得到前驱体溶液;(2)将步骤(1)得到的前驱体溶液涂覆于基材上,先前烘退火,再后烘退火,得到半导体氧化物薄膜。本发明通过在半导体氧化物薄膜中掺杂稀土元素,钝化了在退火过程中残留的有机杂质,从而提高了薄膜的偏压热稳定性。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |